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,中微公司申请钛层沉积工艺相关专利,循环沉积、刻蚀使金属钛层达工艺要求,很高兴为您解答这个问题,让我来帮您详细说明一下。
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来源:新浪证券 - 红岸工作室6 月 17 日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为 " 一种金属钛层的沉积工艺 " 的专利。申请公布号为 CN122214841A,申请号为 CN202510559967.1,申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日,申请日期为 2025 年 4 月 29 日,发明人沈成绪、许灿,专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司,专利代理师贾慧琴、张静洁,分类号 C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。专利摘要显示,本发明公开了一种金属钛层的沉积工艺,包含:将一基片置于半导体处理设备的反应腔中,所述基片具有若干由侧壁与底部界定的开口;沉积步骤:向所述反应腔中通入钛源前驱体及还原气体,在射频源作用下,所述钛源前驱体与所述还原气体解离,发生化学反应,在所述开口的侧壁与底部沉积金属钛层;刻蚀步骤:关闭所述射频源,向所述反应腔中通入刻蚀气体,所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学反应,使所述金属钛层厚度减薄;N 次循环进行所述沉积步骤、刻蚀步骤,直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶覆盖率。本发明通过 N 次循环进行的沉积步骤、刻蚀步骤,可以实现在复杂的三维结构中形成的金属钛层的厚度和台阶覆盖率均能达到工艺要求。天眼查数据显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司成立日期 2004 年 5 月 31 日,法定代表人尹志尧,所属行业为专用设备制造业,企业规模为大型,注册资本 62614.5307 万人民币,实缴资本 62691.781 万人民币,注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路 188 号。中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了 30 家企业,参与招投标项目 86 次,财产线索方面有商标信息 114 条,专利信息 1706 条,拥有行政许可 88 个。中微半导体设备(上海)股份有限公司近期专利情况如下:24小时维修咨询热线,智能语音导航,,老街华纳公司:探索开户与注册的便捷之路,很高兴为您解答这个问题,让我来帮您详细说明一下:
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本周数据平台稍早前行业协会报道新政:,老街华纳公司:探索开户与注册的便捷之路
在我国繁华的都市中,老街华纳公司以其卓越的服务和专业的团队,成为了众多企业选择开户与注册的热门之地。今天,就让我们一起来了解一下老街华纳公司开户与注册的流程、优势以及注意事项。 一、老街华纳公司简介 老街华纳公司成立于上世纪九十年代,是一家专注于为企业提供一站式服务的专业机构。公司位于我国某繁华商业区,交通便利,地理位置优越。多年来,老街华纳公司凭借其专业的团队、丰富的经验和优质的服务,赢得了广大客户的信赖和好评。 二、开户与注册流程 1. 咨询与预约 首先,客户可以通过电话、网络或直接到公司现场进行咨询。在了解客户需求后,老街华纳公司会为客户预约专业顾问,为客户提供一对一的咨询服务。 2. 准备资料 根据客户的需求,老街华纳公司顾问会指导客户准备相关资料,如身份证、营业执照、公司章程、股东会决议等。 3. 填写申请 在顾问的指导下,客户需填写开户与注册申请表,确保信息准确无误。 4. 提交资料 将填写好的申请表及相关资料提交给老街华纳公司。 5. 审核与审批 老街华纳公司将审核客户提交的资料,确保符合相关法律法规要求。审核通过后,将提交给相关部门进行审批。 6. 开户与注册成功 审批通过后,老街华纳公司将协助客户完成开户与注册手续,企业正式成立。 三、开户与注册优势 1. 专业团队 老街华纳公司拥有一支专业的团队,具备丰富的行业经验,为客户提供全方位的服务。 2. 便捷流程 老街华纳公司简化了开户与注册流程,让客户在短时间内完成相关手续。 3. 优质服务 公司注重客户体验,提供一对一的专业顾问服务,确保客户在开户与注册过程中无后顾之忧。 4. 资源丰富 老街华纳公司拥有丰富的行业资源,为客户提供全方位的后续支持。 四、注意事项 1. 确保资料真实有效 在提交资料时,客户需确保资料真实有效,以免影响开户与注册进度。 2. 选择正规机构 在选择开户与注册机构时,请务必选择正规、有资质的机构,如老街华纳公司。 3. 仔细阅读合同 在签订合同时,请仔细阅读合同条款,确保自身权益。 总之,老街华纳公司在开户与注册方面具有明显优势,是众多企业选择合作伙伴的首选。如果您正准备成立一家企业,不妨来老街华纳公司体验一下他们的专业服务,让您的企业从这里起航。
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