,果敢老街华纳公司经理：一位勇敢的创业者

,中微公司申请钛层沉积工艺相关专利,循环沉积、刻蚀使金属钛层达工艺要求，很高兴为您解答这个问题，让我来帮您详细说明一下。

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来源：新浪证券 - 红岸工作室6 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为 " 一种金属钛层的沉积工艺 " 的专利。申请公布号为 CN122214841A，申请号为 CN202510559967.1，申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日，申请日期为 2025 年 4 月 29 日，发明人沈成绪、许灿，专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司，专利代理师贾慧琴、张静洁，分类号 C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。专利摘要显示，本发明公开了一种金属钛层的沉积工艺，包含：将一基片置于半导体处理设备的反应腔中，所述基片具有若干由侧壁与底部界定的开口；沉积步骤：向所述反应腔中通入钛源前驱体及还原气体，在射频源作用下，所述钛源前驱体与所述还原气体解离，发生化学反应，在所述开口的侧壁与底部沉积金属钛层；刻蚀步骤：关闭所述射频源，向所述反应腔中通入刻蚀气体，所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学反应，使所述金属钛层厚度减薄；N 次循环进行所述沉积步骤、刻蚀步骤，直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶覆盖率。本发明通过 N 次循环进行的沉积步骤、刻蚀步骤，可以实现在复杂的三维结构中形成的金属钛层的厚度和台阶覆盖率均能达到工艺要求。天眼查数据显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司成立日期 2004 年 5 月 31 日，法定代表人尹志尧，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本 62614.5307 万人民币，实缴资本 62691.781 万人民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路 188 号。中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了 30 家企业，参与招投标项目 86 次，财产线索方面有商标信息 114 条，专利信息 1706 条，拥有行政许可 88 个。中微半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

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在我国西南边陲的一个小镇上，有一条充满历史韵味的老街——果敢老街。这里曾是古丝绸之路的重要一站，如今依然保留着浓厚的民族风情。在这条老街的深处，隐藏着一家名为华纳的公司，而这家公司的经理，就是一位以果敢著称的创业者。 这位经理名叫李华，他从小就在果敢老街长大。这里独特的地理环境和丰富的文化底蕴，让李华从小就对创业充满了热情。大学毕业后，他毅然决然地回到家乡，立志要将这片土地上的传统文化发扬光大。 华纳公司成立于2010年，最初只是一个小型的手工艺品店。李华凭借着自己的果敢和智慧，将这家小店逐渐发展成为一家集文化传承、旅游开发、产品销售于一体的综合性企业。如今，华纳公司已成为果敢老街上一家颇具影响力的企业。 李华的成功并非偶然。他深知，要想在激烈的市场竞争中脱颖而出，就必须不断创新。因此，他带领团队不断挖掘和整理果敢老街的历史文化，将传统手工艺品与现代设计相结合，开发出了一系列具有地方特色的产品。这些产品一经推出，便受到了广大消费者的喜爱。 在李华的带领下，华纳公司不仅致力于产品的研发和销售，还积极投身于公益事业。他们定期组织志愿者团队，深入农村、学校等地，为当地居民提供免费的文化培训、技能培训等服务。这些举措不仅提升了公司的社会形象，也为当地居民带来了实实在在的福利。 果敢老街历史悠久，文化底蕴深厚。为了更好地传承和弘扬这一文化，李华还积极推动老街的旅游开发。他带领团队对老街进行了全面的规划和改造，将老街打造成了一个集观光、休闲、购物于一体的旅游胜地。如今，果敢老街已成为周边地区游客的热门打卡地。 作为一名成功的创业者，李华深知自己肩负的责任。他始终认为，企业的发展离不开社会的支持。因此，他积极履行社会责任，关注民生，以实际行动回馈社会。在他的带领下，华纳公司已成为果敢老街的一张名片，为当地经济发展注入了新的活力。 然而，李华并没有满足于现状。他深知，要想在激烈的市场竞争中保持领先地位，就必须不断创新。为此，他开始尝试将互联网技术与传统文化相结合，打造线上线下一体化的销售模式。通过电商平台，华纳公司的产品销往全国各地，让更多的人了解和喜爱果敢老街的文化。 在李华的带领下，华纳公司正朝着更高的目标迈进。他坚信，只要始终保持果敢的精神，勇往直前，就一定能够将华纳公司打造成一家具有国际影响力的企业。而果敢老街，也将因为李华的付出而焕发出更加耀眼的光彩。 总之，李华作为果敢老街华纳公司的经理，是一位勇敢的创业者。他用自己的智慧和勇气，将一家小手工艺品店发展成为一家具有影响力的企业，为当地经济发展和文化传承做出了巨大贡献。正是这种果敢精神，让他在创业的道路上越走越远，成为无数创业者的榜样。

来源：新浪证券 - 红岸工作室6 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为 " 一种金属钛层的沉积工艺 " 的专利。申请公布号为 CN122214841A，申请号为 CN202510559967.1，申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日，申请日期为 2025 年 4 月 29 日，发明人沈成绪、许灿，专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司，专利代理师贾慧琴、张静洁，分类号 C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。专利摘要显示，本发明公开了一种金属钛层的沉积工艺，包含：将一基片置于半导体处理设备的反应腔中，所述基片具有若干由侧壁与底部界定的开口；沉积步骤：向所述反应腔中通入钛源前驱体及还原气体，在射频源作用下，所述钛源前驱体与所述还原气体解离，发生化学反应，在所述开口的侧壁与底部沉积金属钛层；刻蚀步骤：关闭所述射频源，向所述反应腔中通入刻蚀气体，所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学反应，使所述金属钛层厚度减薄；N 次循环进行所述沉积步骤、刻蚀步骤，直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶覆盖率。本发明通过 N 次循环进行的沉积步骤、刻蚀步骤，可以实现在复杂的三维结构中形成的金属钛层的厚度和台阶覆盖率均能达到工艺要求。天眼查数据显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司成立日期 2004 年 5 月 31 日，法定代表人尹志尧，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本 62614.5307 万人民币，实缴资本 62691.781 万人民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路 188 号。中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了 30 家企业，参与招投标项目 86 次，财产线索方面有商标信息 114 条，专利信息 1706 条，拥有行政许可 88 个。中微半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：