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,中微公司申请钛层沉积工艺相关专利,循环沉积、刻蚀使金属钛层达工艺要求，很高兴为您解答这个问题，让我来帮您详细说明一下。

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来源：新浪证券 - 红岸工作室6 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为 " 一种金属钛层的沉积工艺 " 的专利。申请公布号为 CN122214841A，申请号为 CN202510559967.1，申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日，申请日期为 2025 年 4 月 29 日，发明人沈成绪、许灿，专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司，专利代理师贾慧琴、张静洁，分类号 C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。专利摘要显示，本发明公开了一种金属钛层的沉积工艺，包含：将一基片置于半导体处理设备的反应腔中，所述基片具有若干由侧壁与底部界定的开口；沉积步骤：向所述反应腔中通入钛源前驱体及还原气体，在射频源作用下，所述钛源前驱体与所述还原气体解离，发生化学反应，在所述开口的侧壁与底部沉积金属钛层；刻蚀步骤：关闭所述射频源，向所述反应腔中通入刻蚀气体，所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学反应，使所述金属钛层厚度减薄；N 次循环进行所述沉积步骤、刻蚀步骤，直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶覆盖率。本发明通过 N 次循环进行的沉积步骤、刻蚀步骤，可以实现在复杂的三维结构中形成的金属钛层的厚度和台阶覆盖率均能达到工艺要求。天眼查数据显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司成立日期 2004 年 5 月 31 日，法定代表人尹志尧，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本 62614.5307 万人民币，实缴资本 62691.781 万人民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路 188 号。中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了 30 家企业，参与招投标项目 86 次，财产线索方面有商标信息 114 条，专利信息 1706 条，拥有行政许可 88 个。中微半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

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位于新加坡的圣淘沙岛，被誉为“欢乐岛”，是一个集休闲、娱乐、度假于一体的人间仙境。在这里，游客们可以尽情享受阳光、沙滩、海浪的无限魅力。而圣淘沙客服，作为岛上的重要服务力量，以其专业、热情、周到的服务，为每一位游客打造出卓越的旅游体验。 一、圣淘沙客服的职责 圣淘沙客服主要负责以下几个方面的工作： 1. 游客咨询：为游客提供旅游咨询、预订服务、行程规划等，确保游客在岛上度过愉快的时光。 2. 活动组织：策划并组织各类旅游活动，如水上运动、户外探险、文艺演出等，丰富游客的旅游体验。 3. 事件处理：在游客遇到突发状况时，及时处理并解决问题，保障游客的人身和财产安全。 4. 岛上秩序维护：维护圣淘沙岛的旅游秩序，确保游客在岛上度过一个和谐、安全的假期。 二、圣淘沙客服的服务特色 1. 专业素养：圣淘沙客服团队由一群热爱旅游、富有经验的导游和客服人员组成，他们具备丰富的旅游知识和专业素养，能够为游客提供全方位的咨询服务。 2. 热情周到：圣淘沙客服始终秉持着“以人为本”的服务理念，对待每一位游客都充满热情，耐心解答游客的疑问，确保游客在岛上享受到温馨、周到的服务。 3. 个性化服务：根据游客的需求，圣淘沙客服会为其量身定制旅游行程，让游客在圣淘沙岛留下难忘的回忆。 4. 灵活应变：面对突发状况，圣淘沙客服能够迅速作出反应，及时调整旅游计划，确保游客的利益不受损失。 三、圣淘沙客服的成果 自成立以来，圣淘沙客服为无数游客提供了优质的服务，赢得了广大游客的赞誉。以下是圣淘沙客服取得的一些成果： 1. 游客满意度不断提升：根据游客调查，圣淘沙客服的服务满意度逐年提高，成为游客心中值得信赖的旅游助手。 2. 岛上旅游秩序良好：在圣淘沙客服的共同努力下，岛上旅游秩序井然，游客在岛上度过了一个安全、愉快的假期。 3. 旅游收入持续增长：圣淘沙客服为岛上的旅游业发展做出了积极贡献，助力圣淘沙岛成为新加坡最受欢迎的旅游胜地。 总之，圣淘沙客服以其专业、热情、周到的服务，为游客打造出卓越的旅游体验。在未来的日子里，圣淘沙客服将继续努力，为游客提供更加优质的服务，让每一位游客在圣淘沙岛度过一个难忘的假期。

来源：新浪证券 - 红岸工作室6 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为 " 一种金属钛层的沉积工艺 " 的专利。申请公布号为 CN122214841A，申请号为 CN202510559967.1，申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日，申请日期为 2025 年 4 月 29 日，发明人沈成绪、许灿，专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司，专利代理师贾慧琴、张静洁，分类号 C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。专利摘要显示，本发明公开了一种金属钛层的沉积工艺，包含：将一基片置于半导体处理设备的反应腔中，所述基片具有若干由侧壁与底部界定的开口；沉积步骤：向所述反应腔中通入钛源前驱体及还原气体，在射频源作用下，所述钛源前驱体与所述还原气体解离，发生化学反应，在所述开口的侧壁与底部沉积金属钛层；刻蚀步骤：关闭所述射频源，向所述反应腔中通入刻蚀气体，所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学反应，使所述金属钛层厚度减薄；N 次循环进行所述沉积步骤、刻蚀步骤，直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶覆盖率。本发明通过 N 次循环进行的沉积步骤、刻蚀步骤，可以实现在复杂的三维结构中形成的金属钛层的厚度和台阶覆盖率均能达到工艺要求。天眼查数据显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司成立日期 2004 年 5 月 31 日，法定代表人尹志尧，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本 62614.5307 万人民币，实缴资本 62691.781 万人民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路 188 号。中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了 30 家企业，参与招投标项目 86 次，财产线索方面有商标信息 114 条，专利信息 1706 条，拥有行政许可 88 个。中微半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：