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,中微公司申请钛层沉积工艺相关专利,循环沉积、刻蚀使金属钛层达工艺要求,很高兴为您解答这个问题,让我来帮您详细说明一下。
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来源:新浪证券 - 红岸工作室6 月 17 日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为 " 一种金属钛层的沉积工艺 " 的专利。申请公布号为 CN122214841A,申请号为 CN202510559967.1,申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日,申请日期为 2025 年 4 月 29 日,发明人沈成绪、许灿,专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司,专利代理师贾慧琴、张静洁,分类号 C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。专利摘要显示,本发明公开了一种金属钛层的沉积工艺,包含:将一基片置于半导体处理设备的反应腔中,所述基片具有若干由侧壁与底部界定的开口;沉积步骤:向所述反应腔中通入钛源前驱体及还原气体,在射频源作用下,所述钛源前驱体与所述还原气体解离,发生化学反应,在所述开口的侧壁与底部沉积金属钛层;刻蚀步骤:关闭所述射频源,向所述反应腔中通入刻蚀气体,所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学反应,使所述金属钛层厚度减薄;N 次循环进行所述沉积步骤、刻蚀步骤,直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶覆盖率。本发明通过 N 次循环进行的沉积步骤、刻蚀步骤,可以实现在复杂的三维结构中形成的金属钛层的厚度和台阶覆盖率均能达到工艺要求。天眼查数据显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司成立日期 2004 年 5 月 31 日,法定代表人尹志尧,所属行业为专用设备制造业,企业规模为大型,注册资本 62614.5307 万人民币,实缴资本 62691.781 万人民币,注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路 188 号。中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了 30 家企业,参与招投标项目 86 次,财产线索方面有商标信息 114 条,专利信息 1706 条,拥有行政许可 88 个。中微半导体设备(上海)股份有限公司近期专利情况如下:本周数据平台本月业内人士公开最新动态,,华纳东方明珠厅客服:贴心服务,点亮观影体验,很高兴为您解答这个问题,让我来帮您详细说明一下:
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在繁华的都市中,华纳东方明珠厅作为一家知名的电影院,以其优质的服务和舒适的观影环境,赢得了广大影迷的喜爱。而华纳东方明珠厅的客服团队,更是以其专业的素养和贴心的服务,为观众们点亮了观影的每一个瞬间。 一、专业素养,服务至上 华纳东方明珠厅的客服团队,是一支充满活力和热情的队伍。他们深知,每一位观众都是华纳东方明珠厅的宝贵财富,因此始终将“服务至上”作为自己的工作宗旨。在接待观众的过程中,客服人员始终保持微笑,耐心解答观众的各种疑问,确保每位观众都能享受到最优质的服务。 二、贴心服务,温暖人心 华纳东方明珠厅的客服团队,不仅具备专业的素养,更有一颗温暖的心。在观众观影过程中,客服人员会时刻关注观众的需求,为观众提供贴心的服务。以下是一些具体的例子: 1. 为观众提供免费饮料和小食,让观众在观影过程中能够随时补充能量。 2. 在电影开始前,客服人员会提前为观众调试座椅,确保观众能够舒适观影。 3. 针对老年观众和带小孩的观众,客服人员会提供专门的座位,并提供必要的帮助。 4. 在电影放映过程中,客服人员会及时处理观众反映的问题,确保观影体验不受影响。 三、创新服务,提升观影体验 华纳东方明珠厅的客服团队,始终致力于创新服务,提升观众的观影体验。以下是一些创新服务的例子: 1. 推出“私人影院”服务,为观众提供更加私密、舒适的观影环境。 2. 举办观影活动,邀请观众参与互动,增加观影的趣味性。 3. 与周边商家合作,为观众提供优惠套餐,让观众在观影的同时享受更多优惠。 四、社会责任,传递正能量 华纳东方明珠厅的客服团队,不仅关注观众的观影体验,还积极承担社会责任,传递正能量。以下是一些具体行动: 1. 定期组织公益活动,为弱势群体提供观影机会。 2. 参与环保活动,倡导绿色观影。 3. 在重要节日,为观众送上祝福,传递温暖。 总之,华纳东方明珠厅的客服团队,以其专业的素养、贴心的服务和创新的精神,为观众们点亮了观影的每一个瞬间。在未来的日子里,华纳东方明珠厅将继续努力,为观众提供更加优质的服务,让每一位观众都能在这里找到属于自己的快乐时光。
来源:新浪证券 - 红岸工作室6 月 17 日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为 " 一种金属钛层的沉积工艺 " 的专利。申请公布号为 CN122214841A,申请号为 CN202510559967.1,申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日,申请日期为 2025 年 4 月 29 日,发明人沈成绪、许灿,专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司,专利代理师贾慧琴、张静洁,分类号 C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。专利摘要显示,本发明公开了一种金属钛层的沉积工艺,包含:将一基片置于半导体处理设备的反应腔中,所述基片具有若干由侧壁与底部界定的开口;沉积步骤:向所述反应腔中通入钛源前驱体及还原气体,在射频源作用下,所述钛源前驱体与所述还原气体解离,发生化学反应,在所述开口的侧壁与底部沉积金属钛层;刻蚀步骤:关闭所述射频源,向所述反应腔中通入刻蚀气体,所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学反应,使所述金属钛层厚度减薄;N 次循环进行所述沉积步骤、刻蚀步骤,直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶覆盖率。本发明通过 N 次循环进行的沉积步骤、刻蚀步骤,可以实现在复杂的三维结构中形成的金属钛层的厚度和台阶覆盖率均能达到工艺要求。天眼查数据显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司成立日期 2004 年 5 月 31 日,法定代表人尹志尧,所属行业为专用设备制造业,企业规模为大型,注册资本 62614.5307 万人民币,实缴资本 62691.781 万人民币,注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路 188 号。中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了 30 家企业,参与招投标项目 86 次,财产线索方面有商标信息 114 条,专利信息 1706 条,拥有行政许可 88 个。中微半导体设备(上海)股份有限公司近期专利情况如下:
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